金融界2024年11月22日消息,国家知识产权局信息显示,镓特半导体科技(铜陵)有限公司取得一项名为“用于生长GaN的HVPE设备排气装置”的专利,授权公告号CN 222024560 U,申请日期为2024年1月。
专利摘要显示,本实用新型公开了用于生长GaN的HVPE设备排气装置,包括:反应腔(1)、取片腔(2)、亿德体育网址连接反应腔和取片腔的法兰以及过滤器(3),所述法兰上连通有排气管(4),所述排气管的末端连通有上外管(5),所述上外管内同心设置有与排气管连通的上内管(6),所述上内管的末端露出在上外管的底部之外,所述上内管的末端外套接有下外管(7),所述下外管内同心设置有与上内管连通的下内管(8),所述下内管的末端露出在下外管的底部之外,所述下内管通过波纹管(9)与过滤器连通。本实用新型的有益效果是用外管套内管的方式,亿德体育网址内管可以插入另一个管道的外管内,外管是起到密封作用,内管是防止金属镓直接接触连接部分,亿德体育网址提高排气管的可靠性。