金融界2024年9月27日消息,国家知识产权局信息显示,中芯北方集成电路制造(北京)有限公司取得一项名为“一种蚀刻装置”的专利,授权公告号CN 221766704 U,申请日期为2023年10月。
专利摘要显示,本申请提供一种蚀刻装置,包括:反应腔;排气装置,所述排气装置与所述反应腔的出气口连通,用于排出所述反应腔内的气体;以及检测装置,亿德体育官网所述检测装置与所述反应腔连通,用于获取所述反应腔的泄漏点。所述蚀刻装置设置有与所述反应腔连通的所述检测装置,可以在所述反应腔产生泄漏点时,亿德体育官网及时快速地确定泄漏点,减少确认泄漏点所需时间,进而降低所示蚀刻装置运行成本。